流量控制器原理
质量流量计,质量流量控制器的概念
质量流量计,即Mass Flow Meter (MFM),是一种准确丈量气体流量的外表,其丈量值不因温度或压力的动摇而失准,不需求温度压力补偿。
质量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不光具有质量流量计的功用,更首要的是,它能自动操控气体流量,即用户可根据需求进行流量设定,MFC 自动地将流量恒定在设定值上,即便体系压力有动摇或环境温度有改变,也不会使其违背设定值。
质量流量计,质量流量控制器的流量单位
气体质量流量单位通常以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 来表明,亦即每分钟规范毫升、每分钟规范升。这意味着,这种外表在不一样的运用条件下,指示的流量均是规范状态下的流量。这是这种外表和其它流量计的首要差异,也是SCCM、SLM 不一样于Ml/min、L/min 的地方。如果需求单位时间内流过的质量(如g/min),能够查阅规范状态下的气体密度,然后作乘法就能够了。
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